性能优越

• 前级泵容量         1.7 m³/h

• 氦气抽速            1.1 I/S

• 进气口压力         15 hPa

• 最小可测漏率      5 · 10-13 Pa m3 /s 

界面友好

集成磁铁的控制面板，便于操作者放置于金属基座上。