七星华创CS100质量流量计/质量流量控制器参数指标

核心技术指标
1、数字模拟信号可选；
2、精度:±1.0% S.P. （≥35% F.S.）  ±0.35% F.S.（＜35% F.S.）；
3、响应时间：  ≤1sec；
4、零点漂移：<0.6%F.S/年；
5、流量规格：10sccm-50slm；
6、输入信号: RS232/485 or  0-5V。

应用领域
用于对气体的质量流量进行精密控制和测量。它们在半导体集成电路工艺、特种材料、化学工业、石油工业、医药、环保和真空等多种领域的科研和生产中有着重要的应用。