高温充氮无氧烘箱干燥箱烤箱参数指标

高温充氮无氧烘箱干燥箱烤箱

高温充氮无氧烘箱干燥箱烤箱

高温充氮无氧烘箱

主要用于光刻胶固化、精密电子元件、电子陶瓷材料无尘烘干的特殊工艺要求，参考国外同类产品技术研发的无氧烤箱。

一、技术参数：

规格型号：TWY-100

1.1使用温度：RT～400℃或450℃；100~500度（水冷保护）

1.2炉膛尺寸≥：450×450×500mm（W×D×H），单腔体

1.3炉膛材料：SUS304无磁性镜面不锈钢；加热元件：不锈钢加热器；热偶：

1.4空炉升温时间：约1.5-2h；空炉降温时间：300℃-50℃降温时间1.5-3.5小时(采用水冷翅片散热器，即水冷保护装置)；
1.5氧含量记录:无纸记录仪（上海英盛）。

1.6温度记录仪：RKC仪表

1.7 温度过冲：约8-10℃；温度分布：±5℃-8℃，一个测温点

1.8 温度偏差：±5℃-8℃

1.9 鼓氮流量（标准）：开始时200L流量计，后面保持120L流量计，分别对应两个流量计

二、氧含量（配氧分析仪）：会根据不同的氧含量浓度配流量计

2.1 氧含量浓度：≤ 100ppm、≤ 50ppm; ≤ 20ppm

2.2 控温稳定度：±1℃；温度均匀度：±2.5%；

三、控制输出:

3.1控温仪表：RKC温控仪表；

3.2 控制：炉腔单独控温、通气、报警保护；

3.3 控温段数：4×10段；控温点数：2点；

3.4 超温报警点数：2点；检测点数：2点；

3.5 报警保护：超温、断偶等声光报警保护；超温保护：独立感温式超温保护器；电机保护：电机过电流、水冷保护； 表面温升：＜30℃；