Säntis 300全晶圆工业阴极荧光CL-SEM系统技术特点

【技术特点】-- Säntis 300全晶圆工业阴极荧光CL-SEM系统

Attolight定量CL-SEM系统提供 “不折不扣”大视场快速扫描的同时获取SEM图像、高光谱CL图像和光学光谱。较小直径的晶圆，或形状混杂的衬底被手动加载到300mm的中间感受器上，然后仪器自动处理。

Säntis 300全晶圆工业CL-SEM系统是全晶圆阴极发光显微镜，可以完全自动化控制150、200和300毫米晶圆。

优点：

1、控制可\达300毫米的晶圆

2、高\效的CL-SEM扫描成像效率

3、同时进行电镜成像和光学信号采集

4、边缘检测，晶圆准确定位(优于10µm)

5、对晶圆翘曲度自动映射和调整

特点：

Säntis 300系统提供3种不同的采集模式，为不同的需求和应用量身定制:

• 面扫描模式（FWBrush模式）

• 线扫描模式（AWPix模式）

• 多点扫描模式

工业市场应用：

1、GaN 及其应用:

高强度LED要求高发射效率和高可靠性。以汽 车应用为例，LED故障影响安全，危及人身安 全；UVC LED 要求高的发射效率和高的发射均匀 性；LED故障会使人的生命处于危险之中，例如在灭菌和消毒应用中。

2、光子学：激光光子学

3、电力电子应用 GaN：电力电子应用需要更大的功率、更小和更轻 的包装，例如物联网或汽车应用

4、II-VI族材料：GaAs 及其应用: 太阳能, 电力电子；电力电子SiC ；µLED

其他应用举例：

微观结构发光二极管(MicroLed)

LED质量控制

GaN中的螺纹位错缺陷计数

碳化硅衬底质量控制

【技术特点对用户带来的好处】-- Säntis 300全晶圆工业阴极荧光CL-SEM系统

【典型应用举例】-- Säntis 300全晶圆工业阴极荧光CL-SEM系统