Phenom Pro | Phenom ProX | Phenom XL | |
光学放大 | 27 - 160 X | 27 - 160 X | 3 - 19 X |
电子光学放大 | 350,000 X | 350,000 X | 200,000 X |
分辨率 | 优于 6 nm | 优于 6 nm | 优于 8 nm |
光学导航相机 | 彩色 | 彩色 | 彩色 |
加速电压 | 4.8 kV - 20.5 kV 连续可调 | 4.8 kV - 20.5 kV 连续可调 | 4.8 kV - 20.5 kV 连续可调 |
真空模式 | 高分辨率模式 降低荷电效应模式(可选) | 高分辨率模式 降低荷电效应模式(可选) | 高分辨率模式 降低荷电效应模式 低真空模式 |
探测器 | 背散射电子探测器 二次电子探测器 (选配) | 背散射电子探测器 二次电子探测器 (选配) 能谱探测器 | 背散射电子探测器 二次电子探测器 (选配) |