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产品参数
| 关键参数 | 分辨率 | 1 nm @ 30 kV，SE |
| 0.9 nm @ 30 kV, STEM | ||
| 加速电压 | 200 V ~ 30 kV | |
| 放大倍率 | 1 ~ 1,000,000 x | |
| 电子枪类型 | 肖特基场发射电子枪 | |
| 样品室 | 真空系统 | 全自动控制 |
| 低真空模式（选配） | 最大180Pa | |
| 摄像头 | 双摄像头（光学导航+样品仓内监控） | |
| 行程 | X：120 mm | |
| Y：115 mm | ||
| Z：50 mm | ||
| T: -10°~ +90° | ||
| R: 360° | ||
| 探测器和扩展 | 标配 | 侧向低角度电子探测器 |
| 选配 | 低真空二次电子探测器 | |
| 背散射电子探测器 | ||
| STEM自动插入式扫描透射探测器 | ||
| 样品交换仓 | ||
| EDS能谱仪 | ||
| EBSD背散射衍射 | ||
| EBIC电子束感生电流 | ||
| CL阴极荧光 | ||
| 高低温原位拉伸台 | ||
| 纳米机械手 | ||
| 大图拼接 | ||
| 轨迹球&旋钮控制板 | ||
| 软件 | 语言 | 中文 |
| 操作系统 | Windows | |
| 导航 | 光学导航、手势快捷导航 | |
| 自动功能 | 自动亮度对比度、自动聚焦、自动像散 |