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| 电子光学系统 | 电子枪类型 | 预对中型发叉式钨灯丝电子枪 |
| 分辨率 | 2.5 nm @ 20 kV | |
| 4 nm @ 3 kV | ||
| 5 nm @ 1 kV | ||
| 放大倍率 | 1 x～300,000 x | |
| 加速电压 | 0.1 kV～30 kV | |
| 成像系统 | 探测器 | 二次电子探测器（ETD）、镜筒内高角度电子探测器 |
| *背散射电子探测器、*能谱仪EDS等 | ||
| 图像保存格式 | TIFF、JPG、BMP、PNG | |
| 真空系统 | 真空模式 | 优于5×10-4 Pa |
| 控制方式 | 全自动控制 | |
| 涡轮分子泵 | ≥ 240 L/S | |
| 机械泵 | 12 m³/h(50 Hz) | |
| 样品室 | 摄像头 | 光学导航 |
| 样品仓内监控 | ||
| 样品台配置 | 五轴自动 | |
| 软件 | 语言 | 中文 |
| 操作系统 | Windows | |
| 导航 | 光学导航、手势快捷导航 | |
| 自动功能 | 自动亮度对比度、自动聚焦、自动像散 |