产品参数
电子光学系统 | 电子枪类型 | 预对中型发叉式钨灯丝电子枪 |
分辨率 | 3.9 nm @ 20 kV(SE) | |
4.5 nm @ 20 kV(BSE) | ||
放大倍率 | 1 x~300,000 x | |
加速电压 | 0.5 kV~20 kV | |
成像系统 | 探测器 | 二次电子探测器(ETD) |
*背散射电子探测器、*能谱仪EDS等 | ||
图像保存格式 | TIFF、JPG、BMP、PNG | |
真空系统 | 高真空 | 优于5×10-4 Pa |
控制方式 | 全自动控制 | |
泵 | 机械泵×1,分子泵×1 | |
样品室 | 摄像头 | 光学导航 |
样品台配置 | 两轴自动 | |
行程 | X: 100 mm | |
Y: 100 mm | ||
软件 | 语言 | 中文 |
操作系统 | Windows | |
导航 | 光学导航、手势快捷导航 | |
自动功能 | 自动亮度对比度、自动聚焦、自动像散 | |
特色功能 | 智能辅助消像散、大图拼接(选配软件) | |
安装要求 | 房间 | 长 ≥ 3000 mm,宽 ≥ 4000 mm,高 ≥ 2300 mm |
温度 | 20 ℃~25 ℃ | |
湿度 | ≤ 50 % | |
电气参数 | 电源AC 220 V(±10 %),50 Hz,2 kVA |