特点

备注

温度范围：7K-400K

10英寸不锈钢真空室

8英寸镀镍无氧铜防热辐射屏

2.25英寸镀金无氧铜样品台

可升级4英寸样品台

高纯石英观察窗

蓝宝石防热辐射屏冷窗

多至6个三维微操作探针臂

可选直流DC/高频RF/微波/光纤探针探针臂

控温系统：高精度4通道控温仪、用于测量样品温度的校准行硅二极管温度计（±12mK）、加热器

温度计安装位置：

1、冷头温度计，用于诊断

2、样品台温度计及加热器，用于控制样品台温度，实现精确控温

3、样品温度计，用于精确测量样品温度

4、冷屏温度计及加热器，用于控制加热冷屏温度，实现快速换样

三级减振系统样品台综合振动 < 1微米

样品台振动 < 100nm

7:1显微观测系统，3微米分辨率，环形光源

可升级16:1显微观察系统