Autoconcept GD90是一个专为高精度元素分析所设计的高分辨辉光放电质谱仪。此辉光放电质谱仪(GDMS)提供了固体金属与绝缘体的直接分析检测。它具有非常宽的元素覆盖范围,可得到超过70种元素的有效数据,灵敏度高,轻元素重元素均可。
GDMS技术使原子化(碎片化)过程与离子化过程分开进行,故而可容易的对ppb至ppt级别的痕量杂质进行测量。此法还使得GDMS技术拥有zei小的基体效应且无须特定参照材料。它可对金属与合金进行全扫描分析,可对半导体进行大量的测量分析,可对多层结构与镀层进行深度剖析。是包括金属、合金、半导体以及绝缘体(须配RF源)等高纯材料的生产与质量控制的理想工具。
主要特性:
·高分辨率,特别是对于有干扰离子存在的测定而言十分重要。
·广泛的元素涵盖范围,软件中包括70个元素相关的干扰离子数据。
·由于原子化和离子化过程发生在不同区域,带来可忽略的基体效应。
·低至亚ppb级的定量数据。
·具有深度剖面同位素比值分析能力。
·zei少的样品制备过程。
特定的应用领域:
金属和合金
超纯材料
半导体材料
非导体材料(需要增加射频源)
GD-90是英国质谱仪器公司推出的新一代基于Autoconcept双聚焦质谱平台的辉光放电质谱仪,它除了有直流离子源,还有射频离子源。可直接分析非导体样品;而且还可以分析针状和片状样品。和原辉光放电质谱仪的标杆产品——原VG公司的VG9000设计思路非常相近。
对于高纯金属材料、硅太阳能材料、半导体材料、无机非金属材料中痕量杂质的分析,GD-90是将是zei理想的分析工具。
主要特点:
一、分辨率高:Autoconcept离子光学是为了达到80000分辨率而设计,只用两个透镜来调谐,六极杆透镜用来加强分辨率。
二、反向双聚焦结构的缺点:从磁场出来的离子束需要被准确地聚焦,而没有一个磁场有完全相同的特征。而GD-90为正向。
三、可以分析针状和片状样品。
四、除了直流离子源,还有射频离子源。可直接分析非导体样品。