软件：

·         测量软件, 公差测量软件

·         图像处理

·         预设参数

·         直方图及LUT

·         SharkSEM™ 基础版 (远程控制)

·         3D 防碰撞模型软件

·         对象区域

·         光电联用

·          定时关机

·         CORAL™（用于生命科学的电镜模块）

·         自动拼图软件

·         样品观察

·         TESCAN Flow™ (离线处理软件)

根据实际配置和需求