赛默飞 Quattro ESEM环境场发射扫描电镜参数指标

参数指标

Quattro ESEM 环境扫描电镜的规格

分辨率	高真空模式 0.8nm@30kV（STEM） 1.0nm@30kV（SE） 3.0nm@1kV（SE）低真空和环扫模式 1.3nm@30kV（SE）
标准检测器	ETD、低真空 SED (LVD)、 ESEM SED (GSED)、红外CCD
可选检测器	Nav-Cam+、DBS、DBS-GAD、ESEM-GAD、ICD、STEM 3+、WetSTEM、RGB-CLD、EDS、EBSD、WDS、拉曼、EBIC 等
ChemiSEM 技术（可选）	可基于能量色散 X 射线光谱 (EDS) 进行实时定量元素面分布。包含点分析、线扫描、面分布及元素定量。
样品台减速（可选）	-4000 V 至 +50 V
低真空模式	高达 2600 Pa (H2O) 或 4000 Pa (N2)
样品台	5轴马达优中心样品台，110 x 110 mm2，105° 倾斜范围。最大样品重量：未倾斜位置，5 kg。
标准样品支架	标准多样品 SEM 支架可单独直接安装在载物台上，可容纳多达 18 个标准样品托 (⌀ 12 mm)，无需工具即可安装样品
样品仓	340 mm 内宽，12 个接口，最多可接三个 EDS 检测器（两个呈 180°对称），并具有与共面 EDS共面的EBSD接口。
原位配件（可选）	软件控制的 -20°C 至 +60°C Peltier 冷台软件控制的 1,000°C 低真空/ESEM 热台软件控制的 1,100°C 高真空热台软件控制的 1,400°C 低真空/ESEM 热台集成气体注入系统：用于下列材料的电子束诱导沉积，最多支持2种气体（其他配件可能限制可用的注气系统 (GIS) 数量）：铂钨碳纳米机械手液氮致冷台电子探针/多探针台
软件选项	Thermo Scientific Maps 软件可进行大面积图像自动采集和拼接，并可与其它设备联用 Thermo Scientific AutoScript 4 软件；基于 Python 的应用程序编程界面图形发生软件 TopoMaps 软件用于图像着色及分析和 3D 表面重建

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