1

测量范围

1nm～4000nm

2

测量zei小值

≤1nm

3

镀膜折射率范围

1.300～10.000

4

入射角

40°～90° 误差≤0.05°

5

偏振器方位角读数范围

0°～180°

6

偏振器步进角

0.0375°/步

7

测量精度

±0.5nm（10nm，±0.5nm）

8

光学中心高度

75mm

9

工作台直径

φ10mm～φ120mm

10

厚度

≤10mm