LabMS 5000 ICP-MS/MS电感耦合等离子体串联质谱仪技术特点

【技术特点】-- LabMS 5000 ICP-MS/MS电感耦合等离子体串联质谱仪

LabMS 5000搭载莱伯泰科成熟的前处理技术，按照行业的需求进行了定制化的设计，对于半导体行业对灵敏度要求极高的需求，LabMS 5000可胜任超痕量元素分析，并能确保分析结果更加准确可靠。

无人值守

稳定可靠，可做到无人值守，24小时不间断安全运行，做到“来片即测”。

即时检测

前端机台配置标准溶液，MS自动绘制标曲；硅片抓取提取后，MS自吸提取液并按预设方法自动检测，检测结果即时发送前端机台。

安全运行

通过了SEMI S2认证，Interlock & EMO完善可靠

声光报警

一旦出现故障，报警信号反馈至前端机台，同时信号塔声光报警

【技术特点对用户带来的好处】-- LabMS 5000 ICP-MS/MS电感耦合等离子体串联质谱仪

【典型应用举例】-- LabMS 5000 ICP-MS/MS电感耦合等离子体串联质谱仪

【产品所获奖项】-- LabMS 5000 ICP-MS/MS电感耦合等离子体串联质谱仪

获得2023 ANTOP奖：半导体领域国产 ICPMS 先行者

荣获2023 BCEIA金奖