扫描隧道显微镜STM（Ultrascan LT-100），扫描探针显微镜（STM）为代表的超高真空设备广泛应用于科学研究中，主要进行对表面有关或者在表面发生的所有物理化学现象进行原子尺度的研究。

低温超高真空扫描隧道显微镜STM（Ultrascan LT-100），扫描探针显微镜（STM）为代表的超高真空设备广泛应用于科学研究中，主要进行对表面有关或者在表面发生的所有物理化学现象进行原子尺度的研究。研发的超高真空低温（4K）STM系统包含关键技术如压电陶瓷步进马达、低温STM探头、超真空液氦双层杜瓦等。