ZP3-4微纳探针台可在纳米尺度上对样品和测试设备进行电学表征。

产品参数

探针数量：4个探头，每个探头配备一个三轴探针臂;自由度：每个探头独立驱动（X、Y、Z三自由度）;

运动：压电驱动；

步进速度：2 mm/s（X，Y，Z）；

运动范围：20x20mm（X，Y），10mm（Z）；

运动分辨率：1 nm （X、Y），10nm （Z）；

探针规格：针柄直径为0.51mm（0.020’’）;