流量规格：（0~5，10,20,30,50,100,200,300,500）SCCM

                       (0~1，2，3，5，10)SLM

准确度：±1.5 %F.S

线性：±1 %F.S

重复精度：±0.2 %F.S

响应时间：电特性：10sec  气特性：≤4sec

工作压差范围：（0.1~0.5）MPa

耐压：3MPa

工作环境温度：5℃~45℃

输入输出型号：0V~+5.00V

电源：+15V 50mA          -15V  200mA

重量：1.1kg