室温纳米精度位移台_ 参数_指标_优点_优势_分析测试百科网

参数指标

EcoSmart Drive系列纳米精度位移台

attoECS系列位移台在提供极高精度位移控制的同时，保证了优异而极高的稳定性能，适用于室温、大气到超高真空环境中，负载可达几公斤，行程达到50mm，zei小步长50nm，配备的光学位移传感器可将位移精度控制到10nm，提供多维度位移功能。

产品名称	ECS3030	ECS3040	ECS3050	ECS3060	ECS3070	ESC3080
位移解码器型号	光电解码器（/NUM)
适用环境	/RT, /HV, /UHV
位移器尺寸（mm³）	30x30x9.5	30x40x9.5	30x50x9.5	30x60x9.5	30x70x9.5	30x80x9.5
zei大负载	90N	120N	150N	180N	210N	240N
zei大速度 (45V, 5kHz)	4.5mm/s
行程	20mm	25mm	30mm	35mm	40mm	50mm
传感器	10nm位移精度，+/-200nm位移重复性，<0.01%绝对精度