阴极荧光 CL-SEM系统 ...

阴极荧光 CL-SEM系统 Monch STEMs光收集和光注入系统技术特点

参考成交价格: 20~50万元[人民币]
技术特点

【技术特点】-- 阴极荧光 CL-SEM系统 Monch STEMs光收集和光注入系统

产品信息

受益于包括光收集或注入模式的多功能系统。揭示样品的前所未有的特征:成分、 结构或缺陷。充分利用具有大收集角度的优化系统。 激发样品以揭示光/热激发下的局部行为。产品优点如下

a、独立于样品架的镜子,可实现完美和优化的对准

b、绝对编码系统,确保高对准精度和再现性(100nm精度)

c、能够在自由空间或通过光纤注入/收集光

产品还有如下特点:

1、光收集模式

a、独特的抛物面收集镜,设计用于安装极靴间隙小至4.5mm;

b、具有亚微米精度的定位系统,用于将镜子与样品完美对齐;

c、 NA>0.4的高曲率抛物面镜;

d、工作距离减小到300µm,以最大化光收集/注入效率;

e、 zl不对称光纤,旨在保持亮度和光谱分辨率。

f、 使用了一种非对称光纤,光纤束从圆形到平行于成 像光谱仪的入口狭缝重新排列。这使得即使当狭缝展开并 且光斑由于扫描而在狭缝的入口处移动时,也能够保持恒 定的光谱分辨率。

2、光注入模式:

a、对于样品的局部光或热激发,光束尺寸减小到几微米;

b、能够同时进行注入和光收集测量。

3、STEM兼容性:

a、 和大部分的(S)TEM型号兼容 : JEOL, TFS/FEI, Hitachi, Nion VG…

b、极靴距离 : 最小 4.5mm

c、PPG平面中有一个可用端口


产品参数

镜子

1、专有抛物面反射镜 ;

2、厚度:2.0 mm(根据要求提供其他厚度);

3、光收集和注入模式兼容 ;

4、样品至镜面距离:300µm ;

5、镜子反射性能:从200nm到1.7µm,高达90%。

微定位系统

1、行程: 30mm (X), +/-1.5mm (Y), +/-1.5mm (Z) ;

2、自动伸缩式镜子 ;

3、精度为300nm的绝对编码器 ;

4、样品台触碰报警,以避免损坏极靴或样品架;

5、外形尺寸161mm x 210mm x 133 mm与Thorlabs笼式系统兼容。

光收集注入接头

1、带适配插入槽的光纤 ;

2、自由空间,以避免空间相干性损失和信号功率密度下降,在两种模式之间切换仅需要几秒钟。

系统控制

1、外部扫描卡,4个输入(12位),用于附加单通道探测器 (PMT…);2个输出,用于控制STEM扫描;1输出,用于光束阻断器。

2、最快测量速度:900Hz(128x128图像用时18s)

软件

1、臂/镜控制软件(Windows®10或更高版本,64位);

2、Gatan Digital Micrograph的采集/可视化模块 ;

3、可选项:Python API加密。

选配件

色散光谱仪:

1、两个成像出口 (320 mm 焦距)

2、多种光栅转台

检测器

1、高速紫外可见光CCD相机 (200 nm–1100 nm) ;

2、InGaAs近红外相机(900 nm–1700 nm);

3、全色检测器 (PMT; 200 nm–900 nm)。


应用领域

1、电子 & 光电子 (GaN, InP, SiC...)

2、光伏电池 (GaAs, CdTe, Perovskites…)

3、发光二极管 (LEDs)

4、2D材料(Graphene, BN, WS2, diamond…)

5、贵金属(plasmonic)

6、光子晶体

7、量子阱 & 量子点

8、矿物、玻璃、陶瓷和宝石

9、无机涂层

10、有机物, 聚合物样品




CL-STEM阴极荧光分析系统

Monch 4107是一个用于STEM,可以实现合适的信噪比和高的光谱分辨率阴极发光检测器。它可以帮助研究人员实现对单个纳米粒子,量子点或原子缺陷测量进行超高分辨率的图像和高光谱图谱的检测。

当您使用STEM进行阴极荧光光谱的探测,能够zei短的时间内达到所需的信噪比是至关重要的,这样您才可以在短时间内测试更多的样品。Attolight 采用创新技术,在与样品毫米级的间距范围内,实现了大面积区域宽立体角高效率收集光子,而且仅仅只需利用STEM上的一个扩展孔。

Attolight Monch 4107 强大而高效。首先,反射镜经过精心设计,获得前所未有的曲率半径和小型化水平;它可以适应在市场上大多数校正的STEM设备,同时保持足够的刚度和3个自由度,允许完成亚毫米级的调整。其次,Mönch 4107 直接收集样品的阴极发光并耦合到光纤内,保证信号到达光谱仪的强度。zei后,一个超快EMCCD相机测量信号并实现高的光谱分辨率,高光谱扫描能在几秒钟内完成。数据可以直接通过其他技术(EELS, EDS)的软件采集且并行显示

Monch 4107并非插件。这是一个从事电子显微镜和光学和光谱学多年的专业知识公司提供的解决方案。Attolight将用于阴极荧光SEM分析系统研发中的设计、制造技术推广到STEM设备。

Monch 4107 包含3自由度快速校准荧光收集反射镜,光纤耦合高分辨率光谱仪,用于快速高光谱采集的scientific级高速相机,以及具有扫描模块STEM杆。

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产品参数

测试模式:

阴极荧光高光谱mapping.

光学部分

zl反光镜光纤耦合器


光谱收集范围 200 -1700 nm


信号经过光纤解耦合器实现无需校准

各光学部件数值孔径相互匹配,光强损失减到zei小

收集的阴极荧光信号可以耦合到用户自己的光学设备里 (例如干涉仪、光源注入器等)

用户可根据需求快速更换传导光纤

探测器部分:

采用3光栅塔台双出口的色散分光计(光栅在下订单时由客户选择)

可选取高速EMCCD 相机用于探测UV-Vis波段;或者高速 CCD 相机用于探测UV-NIR波段InGaAs线阵列探测器用于NIR (可选项)

微定位系统:

◆ 3自由度收集镜实现样品任意位置的信号收集行程: ±150 (Z), 3 mm (X), 100 mm (Y)

◆ zei小步长:500 nm

可重复性(整个行程内): 500 nm

◆ 触碰提示避免损伤极靴

系统控制:

4通道扫描卡:一个用于额外的单通道探测器,2个用于控制STEMXY扫描,个用于控制STEM电子

无与伦比的检测速度:900Hz (128
*128 mapping 仅需18s)

控制软件兼容Win7

可以使用Gatan Digital Micrograph软件进行数据采集和图形化

安装要求:


极靴和样品台之间有2mm以上的空间


(上下两个极靴之间大于4mm)

样品与载物架之间间隙小于300 μm

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主要特点:


从激发发光到探测,光的传输损失小


恒定光谱分辨率,无需损失强度。

3轴亚微米级电动反光镜—采集任意位置发光


精密设计,配置于极靴与样品之间 2 mm的间隙。


配置超快相机及高精度扫描单元的收集镜,可在数毫秒瞬间实现紫外可见近红外高光谱成像


STEM其他技术完全兼容 (HAADF, BF, di?raction, EELS (插入式探测器),EDS, Tomography (可伸缩探测器)

Gatan Digital Micrograph软件兼容

应用领域:

先进材料性质研究,如:

氮化物半导体 (GaN, InGaN, AlGaN, …);

III-V族半导体(GaP,InP,GaAs,…);

II-VI族半导体(CdTe,ZnO,…)

宽禁带材料(diamond, AlN, BN)

检测复合材料的成分的不均一性

(例如:InGaN材料中In富集)

材料微纳结构或异质结构形貌相关联的光学特性

缺陷表征(空位, 线位错,堆垛层错, …)

表面等离子体激元学

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Mönch 4107 一个坚实的出版记录,其中有关于纳米等

【技术特点对用户带来的好处】-- 阴极荧光 CL-SEM系统 Monch STEMs光收集和光注入系统


【典型应用举例】-- 阴极荧光 CL-SEM系统 Monch STEMs光收集和光注入系统