西班牙AWSensors公司AWS A20-Research Platform®测试系统基于声波传感原理,可通过石英传感器频率变化和导纳-频率特征谱来检测芯片表面质量和结构变化,适用于刚性和粘弹性薄膜。具有倍频操作模式,可给出薄膜的粘度,弹性模量,粘性模量,厚度等信息。倍频曲线也可以用来表征薄膜的均匀性,用来评价沉积方法。测试频率高达160MHz,灵敏度可达0.05ng/cm2。