准分子激光器参数指标

     

技术参数：


* 输出波长：157nm, 193nm, 222nm, 248nm, 308nm, 351nm.
 * 单脉冲能量：0.3-360mJ。
 * zei大重复频率：60-300Hz.
 * 脉冲宽度： 2.5-27ns
 * 每次充气后，气体的工作寿命： zei高可达107 此性能指标和所用工作气体有关。
 * 闸流管质保期限： 2年或3x108次工作脉冲。