1.真空度测量范围: 9.999×10-1~1×10-5 2.离子电流测量范围: 9.999×10-1~1×10-7 3.测量误差: <10% 4.测量分辨率: 10-5pa 5.允许环境温度: -20℃~50℃ 6.空气湿度: ≤80%RH 7.电源: AC,220V,50Hz±10% 8.外型尺寸: 420×290×210(mm) 9.高压输出: 脉冲30kV15kHz ⒑重量: 8kg