检测系统

光杠杆法 SLD（超辐射发光二极管）

样品尺寸

最大35mmφ、厚度10mm、选配扩展时（最大50mm方形、厚度20mm）

扫描范围

均为选配　XY/ Z : 20/1.5、100/15、150/5（单位  µm）