扫描式电子显微镜参数指标

技术参数：

二次电子像分辨率：4 nm (20 kV, 高真空)8 nm (3 kV, 高真空)15 nm (1 kV, 高真空)
 背散射电子像分辨率：5.0 nm (20 kV,高真空/低真空)
 加速电压：0.5 to 20kV
 放大倍数：8x to 300,000x
 低真空范围：10-100 Pa
 EDS分析：    WD 10 mm, 取出角 35度    标配电制冷能谱仪 (133 eV)
 电子枪 ：   工厂预对中灯丝
 电子枪偏压： 无缝式自偏压
  低真空范围：10-100 Pa  
 聚光镜（日本电子zl）：可变焦聚光镜 
 物镜：   超级圆锥形物镜
 物镜光阑： 1段式可动(带XY轴微调) 
 像散存储器 ： 内置 
 图像移动：±50μm（WD 10 mm）
 探测器  ：二次电子探测器， 高灵敏度半导体型背散射电子探测器，低真空二次电子探测器 (选购)。
 自动枪对中：内置
 自动聚焦：内置 
 自动灯丝加热：内置
 自动消像散：内置
 自动亮度和对比度调整：内置
 zei大样品尺寸：152mm（直径）
 可支持的选购附件：EDS 
 样品室：X=80mm，Y=40mm，Z=5到48mm，倾斜：-10 - +90度，旋转：360度
 zei大视野范围:127mm（直径）
 zei大样品高度:53 mm 
 马达驱动:2轴马达驱动（选配）
 图像存储像素:640x480, 1280x960, 2560x1920 pixels 
 图像显示像素:1 frame: 1280x 960 2 frames: 640x480; 4 frames: 320x240EG
 图像保存格式:Format: BMP, TIFF, JP
 平行线间距测量:垂直,水平,对角
  2点之间距离测量:任意2点间距离
 圆的测量:直径,2个圆中心间距离
 角度测量:角度
 面积测量:圆和多角形
 计数:颗粒计数
 分子泵:420升/秒
 机械泵:100升/秒