【技术特点】-- 等离子体清洗机/等离子体表面处理仪

主要特点：
（1）采用电容耦合电极和zl化的电极设计（zl号：US Patent. 4,887,005/5,190,703/5,228963/5,468,560/5,733,511），低失真、高效率的特性，保证了样品室内等离子体分布的均一性；
（2）采用自动调频高频发生器，保证了等离子体发生的稳定性和有效性；
（3）采用高精度的流速控制和压力控制部件，保证了气体的精确控制、高重现性混合和分布；
（4）采用软件控制，确保控制的方便有效和实时监控；
（5）一体化的高真空系统，确保了操作的方便性和稳定性；
（6）多种样品室可供选择，如耐热玻璃和石英等，更能满足广大客户的需求多；
（7）体积小，可远程操作，多种安全保护，保证操作的安全和方便；
（8）样品室和功率设计合理，可满足绝大部分科研需要；
（9）全自动操作，方便可靠。

【技术特点对用户带来的好处】-- 等离子体清洗机/等离子体表面处理仪

【典型应用举例】-- 等离子体清洗机/等离子体表面处理仪