技术参数：

  1．光 源：氙灯
  2．波长范围：350-850 nm；250-1100 nm；250-1700 nm
  3．波长精度：1 nm
  4．光斑直径： 1-3 mm
  5．入射角范围：20度 to 90度，自动控制
  6．入射角控制精度：0.01度/步
  7．样品台尺寸：Ø160 mm（可进行高低、俯仰调节） 
  8．椭偏参数测量范围：Psi(0-90度）；Delta(0-360度）
  9.椭偏参数准确性：tg(Psi)≤0.003；cos( Delta)≤0.00001
  10．集成化专用测量和分析软件