技术参数:
1.光 源:氙灯 2.波长范围:350-850 nm;250-1100 nm;250-1700 nm 3.波长精度:1 nm 4.光斑直径: 1-3 mm 5.入射角范围:20度to 90度,5度/步 6.样品台尺寸:Ø160 mm (可进行高低和俯仰调节) 7. 椭偏参数测量范围:Psi(0-90度);Delta(0-360度) 8.椭偏参数准确性:tg(Psi)≤0.003 ;cos( Delta) ≤0.00001 9.集成化专用测量和分析软件