技术参数：

  1．光 源： He-Ne激光器
  2．波长范围： 632.8 nm
  3．光斑直径： 1-2 mm
  4．入射角范围：20度to 90度，5度/步
  5．样品台尺寸：Ø160 mm
  6．测试和数据分析软件
  7．椭偏参数准确性：tg(Psi)≤0.01,cos( Delta)≤0.0001
  8．集成化专用测量和分析软件