快速退火炉(RTP/RTA)是半导体材料和器件常用的一款工艺设备。

RSO-200快速退火炉可以在真空、惰性气氛、不同的工艺气体环境下使用，适用于样品尺寸大、但是退火温度不太高的样品。

仪器特点：

- 最高工艺温度：650摄氏度；

- 加热区域：200mm x 170mm；

- 高性价比；

参考用户：

中电13所等。