设备名称	台数	型号	厂家
电子探针分析仪	1	JAX-8100	日本电子（JEOL）
能谱分析仪	1	INCA Energy250	英国牛津（OXFORD）
真空喷镀仪	1	JEE-420	日本电子（JEOL）
离子溅射仪	1	JFC-1600	日本电子（JEOL）