型号：UPG501

技术指标：

光源：LED 390nm。

最小线宽：1um。

套准精度：0.5um。

衬底尺寸：最大为5英寸。

衬底厚度：0-6mm。

数据格式：GDSII、DXF、CIF、BMP

主要功能：

    采用紫外光源(390nm)，制作光刻掩模版；也可以直接实现光刻胶的曝光，在光刻胶上制作出亚微米（＞1um）图形结构。