陕西省微型机械电子系统研究中心
陕西省微型机械电子系统研究中心

成立于2001年3月,主要从事MEMS设计与工艺、各种MEMS器件、MEMS传感器和相关系统的设计和制作。

主任:蒋庄德
副主任:赵玉龙