目前国内首家独家具备光学镜头的X射线高分辨显微镜。

X射线三维显微镜作为新一代的高分辨率******检测技术平台，采用了双探测器设计方案（如下图所示），分别是高效率平板探测器和多倍率光耦探测器。用户可以根据不同的测样需求切换两套光路系统，可以利用平板探测器对样品进行大范围整体观察，视野可达130mm，找到特征目标区域，然后利用光耦探测器对目标区域进行高分辨成像，且具有多种不同放大倍率可供选择，最高分辨率可达500nm。