超高真空变温SPM-MBE系统Omicron Multiprobe |
LPCVD系统Tystar –TYTAN160 |
扫描探针显微镜Nanoscope IIIa |
扫描探针显微镜Nanoscope III |
扫描探针显微镜Nanoscope E |
多针尖蘸笔纳米刻蚀系统Nscriptor DPN Writer System |
微区拉曼光谱仪Renishaw-1000 |
紫外可见光谱仪Lambda-950 |
荧光光谱仪PE-LS50B |
红外光谱仪PE-2000 |
光学显微镜Olympus-DX51 |
PECVD系统OTF-1200X |
电场辅助CVD系统Lindberg-STF55346C |
高温CVD系统GSL-1700X |
台式红外线灯管加热炉Mini-Lamp Annealing System Mila-3000 |
冷场发射扫描电镜Hitachi S-4800 |
微探针台电学测试系统MM6200-Keithley4200 |
传感器测试系统TP-302 |
电化学工作站CH-1660B |
氙灯光源PLS-3SXE300 |
汞灯光源 |
接触角测定仪OCA-20 |
高效液相色谱Agilent-1100 |
超高真空电子束沉积系统Balzers-ULS400 |
电子束/热阻式真空镀膜机UNIVEX-300 |
光刻机BG-401A |
手套箱MBRAUN Unilab |
热阻式真空镀膜机ZHD-300 |
真空退火炉VTHK-350 |
反应离子刻蚀机ME-3A |
划片切割机EC-400 |
楔焊机K&S-4523 |
等离子清洗机Prep2-FEMTO |