中心的目标是建设世界一流的微纳米研究中心，使中心成为一个多学科交叉的开放性的公共研究平台，微纳米器件与系统创新科技人才的培养平台，以及科研成果转化和产业化的基地。

　　中心的研究方向，主要从事微纳米加工技术、微纳米材料以及微纳米器件与系统的研究与应用，并为国内外产业及研究机构服务。

　　中心拥有3800平方米的中心大楼 “亦玄馆”，拥有100级、1000级、10000级共计660平方米的工艺洁净室、各种高纯气体供气系统、18MΩ纯水系统、三废处理系统、防震工作台等。中心拥有80多台各种微机电工艺设备。