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管理机构
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运行机构
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主任： | 黄庆安 |
MEMS CAD 研究室 |
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副主任： | 秦明 | CMOS MEMS 研究室 | |||
| 何小元 | RF MEMS 研究室 | |||||
| 孙立涛 | MEMS 封装与可靠性研究室 | |||||
| NEMS 研究室 | ||||||
| 微纳结构动态测试研究室 | ||||||
| 微纳转热及相关器件研究室 | ||||||
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