一、主要配套附件介绍
(1) 冷却水循环系统 循环冷却水装置是加入蒸馏水后自循环的冷却系统，为等离子体线圈冷却用，由于ICP温度较高、功率较大，释放热量多，因此，一般用于ICP的冷却水循环系统也有较大制冷量。
(2) 自动进样器 一般经蠕动泵提升溶液样品，并有一个清洗位，为克服长时间清洗，溶液变脏，可能污染样品，因此，不少公司自动进样器清洗溶液可自动保持新鲜。
(3) 氢化物发生装置 主要用于汞、砷、碲、铋、硒、锑、锡、锗和铅等可生成氢化物元素的测定，可大大降低干扰，提高灵敏度。
(4) 空气压缩机 有的公司的仪器采用空气来切割ICP尾焰，还需空气压缩机，一般应有一定的压力要求，且应带空气过滤器除去空气中的水分。
(5) 自动稀释装置 许多ICP还可配置自动稀释装置，用于一些高浓度的样品的自动稀释后自动测定。
(6) 消耗品ICP的消耗品较多，主要有石英炬管、雾化器、样品进样蠕动泵泵管、排液蠕动泵泵管、连接接头和进样管、石英窗、各种垫圈等。
二、仪器的分类
(1) 按检测器读取信号的方式不同来分 从检测器读取信号的方式来区分，早期把等离子体发射光谱仪仪器分成同时型(simultanous)和顺序型(sequential)两类。有的也分别称为多通道型(多道)和顺序型(单道扫描)。
由于传统的发射光谱仪器是采用多个独立的光电倍增管PMT测定被分析元素，分析一个元素至少要预先设置一个通道。单道扫描型仪器从光源发出的光穿过入射狭缝后，反射到一个可以转动的光栅上，该光栅将光色散后，经反射使某一条特定波长的光通过出射狭缝投射到光电倍增管上进行检测。光栅转动至某一固定角度时只允许一条特定波长的光线通过该出射狭缝，随光栅角度的变化，谱线从该狭缝中依次通过并进入检测器检测，完成一次全谱扫描；而多道光谱仪则是多路独立的信号可同时检测，为了使光谱仪能装上尽可能多的检测器，仪器的分光系统必须谱线尽量分开，也就是说单色器的焦距要足够长，但限于仪器的体积，多道一般道数在50以下。
1991年随着新的中阶梯光栅固态检测器的问世，使仪器同时具有同时型和顺序型仪器的功能，这样形成了新一类的仪器，目前国内一般称为“全谱直读”型仪器。但从它的信号检出来看，由于这类仪器把中阶梯光栅等光学元件形成的二维谱图投影到平面固态检测器的感光点上，它与同时型仪器很接近，但目前国内习惯将“全谱直读’’型仪器作为一类新的仪器，从仪器的硬件结构上，“全谱直读”型仪器可称为中阶梯光栅固态检测器等离子体发射光谱仪。
(2) 按光学系统观测方向的不同来分 根据ICP炬管安装位置及光学系统观测方向的不同，等离子体发射光谱仪可分为轴向观测、径向观测和双向观测3种。
所谓径向观测也叫垂直观测，是指垂直放置炬管，水平方向观测光的测量方式。相对应的，水平放置炬管，水平方向(与炬管同轴方向)观测光的测量方式称轴向观测，也叫水平观测。两种观测方式各有优缺点，一般水平观测有较低的检出限和背景等效浓度，具有较高的信背比及较低检出限的优点；但存在尾焰背景干扰，需要进行等离子体尾焰消除技术来减少尾焰背景的影响，分析过程中基体干扰也更为严重，另外，容易使炬管沾污等。为了弥补上述两种观测方式各自的不足，仪器厂家开发了双向观测技术，他们在水平观测的基础上通过平面反射镜来实现垂直观测功能，比较好地融合了垂直和水平观测的特点，具有一定的灵活性，增加了测定复杂样品的适应性。
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