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1.放大倍数 M=L/l2.分辨率(本领)影响分辨本领的主要因素:入射电子束斑的大小,成像信号(二次电子、背散射电子等)。3.扫描电镜的场深扫描电镜的场深是指电子束在试样上扫描时,可获得清晰图像的深度范围。当一束微细的电子束照射在表面粗糙的试样上时,由于电子束有一定发散度,除了焦平面处,电子束将展宽,场深与放大倍数及孔径光阑有关。