明暗场衬度图像
明场成像(Bright field image):在物镜的背焦面上,让透射束通过物镜光阑而把衍射束挡掉得到图像衬度的方法。
暗场成像(Dark field image):将入射束方向倾斜2θ角度,使衍射束通过物镜光阑而把透射束挡掉得到图像衬度的方法。
▽ 明暗场光路示意图
▽ 硅内部位错明暗场图
来源:《Characterization Techniques of Nanomaterials》[书]
(2)高分辨TEM(HRTEM)图像
HRTEM可以获得晶格条纹像(反映晶面间距信息);结构像及单个原子像(反映晶体结构中原子或原子团配置情况)等分辨率更高的图像信息。但是要求样品厚度小于1纳米。
▽ HRTEM光路示意图
▽ 硅纳米线的HRTEM图像