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图像类别
(1)明暗场衬度图像
明场成像(Bright field image):在物镜的背焦面上,让透射束通过物镜光阑而把衍射束挡掉得到图像衬度的方法。
暗场成像(Dark field image):将入射束方向倾斜2θ角度,使衍射束通过物镜光阑而把透射束挡掉得到图像衬度的方法。
▽ 明暗场光路示意图
▽ 硅内部位错明暗场图