（1）无机材料
溶剂清洗或长时间抽真空，以除去试样表面的污染物。如对陶瓷或金属样，用乙醇或丙酮擦洗，然后用蒸馏水洗掉溶剂，吹干或烘干。
用氩离子刻蚀法除去表面污染物。
擦磨、刮剥和研磨。表层与内表面的成分相同的固体样品，用SiC纸擦磨或用刀片刮剥；粉末样品采用研磨的办法使之裸露出新的表面层。
真空加热法。对于能耐高温的样品可采用在高真空度下加热的办法除去样品表面的吸附物。
（2）有机和高聚物样品
压片法：软散的样品采用压片的方法。
溶解法：样品溶解于易挥发的有机溶剂中，然后将1～2滴溶液滴在镀金的样品托上，晾干或用吹风机吹干。
研压法：对不溶于易挥发有机溶剂的样品，可将少量样品研磨在金箔上，使其形成薄层。
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