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目前最高级别的能谱仪分辨力可达121eV。能量分辨力是指，针对两种不同能量的入射粒子，探测器所能够测定最小的能量间隔。能量分辨率定义为全能峰半高宽(FWHM)与峰位能量的比值，它表征了探测器对不同能量射线的辨能力，因此是谱仪探测器最重要的性能指标。实际测得的能量分辨率与探测器输出信号的产生、传递、转换、放大与收集等过程有关。若有用信号越强，干扰因素越弱，则能量分辨率越好。
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