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eds是指能谱仪。
能谱仪(EDS,Energy Dispersive Spectrometer)是用来对材料微区成分元素种类与含量分析,配合扫描电子显微镜与透射电子显微镜的使用。
指标:
固体角:决定了信号量的大小,该角度越大越好
检出角:理论上该角度越大越好
探头:新型硅漂移探测器(SDD)逐步取代锂硅Si(Li)探测器
能量分辨力:最高级别的能谱仪分辨力可达121eV
探测元素范围:Be4~U92