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微波炉加热分解法是以被分解的土样及酸的混合液放入聚四氟乙烯容器中，在微波炉内加热使试样受到分解的方法。这种方法以聚四氟乙烯密闭容器做内筒，以能透过微波的材料如高强度聚合物树脂或聚丙烯树脂做外筒，在该密封系统内分解试样能达到良好的分解效果。在分解试样时不用观察及特殊操作，由于压力高，所以分解试样很快，不会受外筒金属的污染(因为用树脂做外筒)；n-]l~时分解大批量试样。其缺点是需要专门的分解器具，不能分解量大的试样，如果疏忽会有发生爆炸的危险。
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