化学量传感器的传感对象包括离子与分子。离子传感器是能把溶液巾离子活度转换为电位或电流等电信号的传感器。离子传感器的基本原理是离子识别，利用固定在敏感膜上的离子识别材料有选择性地结合被传感的离子，从而发生膜电位或膜电流的改变。ISFET(
ion sensitivefield effect
transistor)即离子敏场效应晶体管或离子选择性场效应管，是常见的离子传感器，是由ISE敏感膜和MOSFET场效应晶体管组合而成的、对离子具有一定选择性的新型半导体器件，能在被测离子作用下产生相应的漏一源电流IDS，以显示该种离子的浓度（图2-23）。其离子的主要探测元件为固态或液态的离子敏感膜，选择不同的敏感膜，可以测定不同的离子浓度。ISFET主要有H+、K+、Na~-、Ca2+、Cl-、F-、Br-、I-、CN-、Ag+、S2-、NH4+等几种。也可以将H+、K+、Na+、C1-等离子敏感膜集成在一个芯片上，通过模拟开关使4个ISFET输出信号，分别测定离子的浓度。对于土壤营养监测来说，ISFET器件的技术关键是在于离子选择性敏感膜的研制。可以将多ISFET传感器集成到FIA(flow
injection analysis)系统中进行土壤营养成分的监测。也可以用ISFET连续检测土壤pH。
图2-23 ISFET结构示意图
1．硅钨酸PVC膜；2．SiN4；3．SiO2；4．沟道；5．绝缘树脂；6．参比电极；
B：P-Si基体；S：源极；D：漏极
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