电源电压U由调节电阻R适当降压后，经变压器B，产生10～25kV的高压，通过扼流线圈D向电容器C充电。当电容器C两极间的电压升高到分析间隙G的击穿电压时，储存在电容器中的电能立即向分析间隙放电，产生电火花。放电完了以后，又重新充电、放电，反复进行以维持火花放电不灭。
高压电火花的特点：
优点：稳定性较好，由于高压火花放电时间极短，故在这一瞬间内通过分析间隙的电流密度很大（高达10000-50000A/cm2，因此弧焰瞬间温度很高，可达10000K以上，故激发能量大，可激发电离电位高的元素。
缺点：由于电火花是以间隙方式进行工作的，平均电流密度并不高，所以电极头温度较低，且弧焰半径较小，蒸发能力较低。
这种光源主要用于金属合金分析、适于低熔点和难激发元素的定量分析。
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