原理：用一束X射线或低能光线照射样品材料，致使样品发射二次特征X射线，也叫X射线荧光。这些X射线荧光的能量或波长是特征的，样品中元素的浓度直接决定射线的强度。从而根据特征能量线鉴别元素的种类，根据谱线强度来进行定量分析。XRF有波长散射型(WDXRF)和能量散射型(EDXRF)两种，前者测量精密度好，稳定性高，但结构复杂，价格昂贵，应用较受限，后者结构简单，价格低，但干扰元素多，且准确性低，目前还处在继续完善阶段。
分析元素范围：4号铍(Be)-92号铀(U)
分析特点：分析速度快，操作简单，适合大块样品的测试；可进行元素定性分析，确定元素的类型；可实现全元素扫描；可对元素进行半定量分析，某些元素有标准物质时也可进行定量分析，检出限较高。
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