XRF、EDX、EDS，作为最常见的元素分析仪器，它们之间有什么区别呢？
1、定义
XRF指的是X射线荧光光谱仪；
EDX指的是能量散射型X射线荧光光谱仪，也有人叫EDXRF；
EDS是能谱仪。
2、应用
1）XRF的应用
a) X射线用于元素分析，是一种新的分析技术，但在经过二十多年的探索以后，现在已完全成熟，已成为一种广泛应用于冶金、地质、有色、建材、商检、环保、卫生等各个领域。
b) 每个元素的特征X射线的强度除与激发源的能量和强度有关外，还与这种元素在样品中的含量。
c) 根据各元素的特征X射线的强度，也可以获得各元素的含量信息。这就是X射线荧光分析的基本原理。
优点:
a) 分析速度高。测定用时与测定精密度有关，但一般都很短，2～5分钟就可以测完样品中的全部待测元素。
b) X射线荧光光谱跟样品的化学结合状态无关，而且跟固体、粉末、液体及晶质、非晶质等物质的状态也基本上没有关系。（气体密封在容器内也可分析）但是在高分辨率的精密测定中却可看到有波长变化等现象。特别是在超软X射线范围内，这种效应更为显著。波长变化用于化学位的测定。
c) 非破坏分析。在测定中不会引起化学状态的改变，也不会出现试样飞散现象。同一试样可反复多次测量，结果重现性好。
d) X射线荧光分析是一种物理分析方法，所以对在化学性质上属同一族的元素也能进行分析。
e) 分析精密度高。
f) 制样简单，固体、粉末、液体样品等都可以进行分析。
缺点：
a）难于作绝对分析，故定量分析需要标样。
b）对轻元素的灵敏度要低一些。
c）容易受相互元素干扰和叠加峰影响。
其实是一样的，但是美国人一般叫EDS，英国人一般叫EDX，国内叫EDS的多。
2）EDX也是属于XRF的能量色散型，还有种WDX波长色散型，不过现在市面上多是EDX。
XRF用的物理原理，通过X射线穿透原子内部电子，由外层电子补给产生的能量差来判断属于何种元素。所以它只能测元素而不能测化合物。
ICP则需要对样品进行溶解，采用的是化学方法，测试的是样品的溶液，它的精确度和准确度当然比XRF要高了。
WDXRF的X射线荧光出来后通过分光晶体分光，通过不同的波长逐一检测。
EDXRFX射线荧光出来后直接被检测器收集，通过数模转换得到结果。EDXRF体积小，价格相对较低，检测速度比较快，但分辨率没有WDXRF好。
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