电感耦合等离子体质谱仪分类有多种。
1、按分析目的可分：电感耦合等离子体实验室质谱仪和电感耦合等离子体工业质谱仪。
2、按结构可分：台式电感耦合等离子体质谱仪和落地式电感耦合等离子体质谱仪。
3、按分析规模可分：小型电感耦合等离子体质谱仪和大型电感耦合等离子体质谱仪。
4、按分辨率可分：低分辨电感耦合等离子体质谱仪、中分辨电感耦合等离子体质谱仪和高分辨电感耦合等离子体质谱仪。
5、按用途可分：电感耦合等离子体矿石质谱仪、电感耦合等离子体钢铁质谱仪、电感耦合等离子体合金质谱仪、电感耦合等离子体重金属质谱仪和电感耦合等离子体稀土质谱仪等。
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