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光电光谱仪中使用反射光栅，通常是在玻璃上镀一层铝膜，然后用金刚石刀具在这铝膜上刻出很密的平行刻槽，当一束平行光投射到平面反射光栅表面时，光栅上的每一刻槽都进行衍射，而每一刻槽的衍射又要互相干涉，使不同的波长的光在不同的衍射方向上出现干涉极大，这样复合光通过光栅后就色散成单色光。由mλ=d（Sinθ+SinФ），可以看出，在光栅常数d及入射角θ固定时，在衍射方向上，每一不同的衍射角Ф有其相对应的mλ值，这就是光栅色散原理。
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